磁懸浮軸承型復合分子泵 TG-M系列

簡要描述：Osaka復合分子泵使用磁懸浮軸承實現無油的排氣，而且維護周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產品。磁懸浮軸承型復合分子泵 TG-M系列

產品型號： TG390M/TG2400M

所屬分類：干式真空泵

更新時間：2025-03-20

廠商性質：經銷商

詳情介紹

磁懸浮軸承型復合分子泵 TG-M系列使用磁懸浮軸承實現無油的排氣，而且維護周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產品。

TG-M系列磁懸浮分子泵產品型號：TG390M、TG420M、TG900M、TG1300M、TG2400M。

特點：

任意方位安裝
輕巧設計
節能
分子泵停止與啟動時間短
附帶維護警報機能
低振動
無需調整
自動校準
可控制轉子旋轉速度
大流量排氣
多種通信模式
符合安全規格　NRTL/SEMI-S2/CE

應用：

半導體制造

電子槍排氣，離子源排氣

FPD制造

表面處理，表面改質

各種電子部件的制造

分析，試驗裝置

管球制造，光學部件制造

加速器，放射線設施，核聚變研究

熱處理

研究開發

磁懸浮軸承型復合分子泵 TG-M系列技術規格：

型號		TG390M	TG420M	TG900M	TG1300M	TG2400M
法蘭	吸氣口ISO-R/CF	100	160	160	200	250
法蘭	排氣口	KF25	KF25	KF40	KF40	KF40
排氣速度	N2（附加金屬過濾網）	320L/s	370L/s	860L/s	1230L/s	2300L/s
排氣速度	H2	290L/s	300L/s	1050L/s	1200L/s	1100L/s
大壓縮比	N2	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁸	1×10⁸
大壓縮比	H2	4.3×10³	4.5×10³	1.5×10⁴	1.5×10⁴	1.5×10³
極限壓力	ISO-R/CF	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa/＜1×10^-7Pa	＜1×10^-6Pa
可達氣體流量	N2（sccm）	2000	2000	3000	3000	3000
推薦輔助泵		≥160L/min	≥160L/min	≥250L/min	≥250L/min	≥500L/min
容許輔助壓力		400Pa	400Pa	500Pa	500Pa	200Pa
重量Kg	ISO-R/CF	14/17	14/17	34/42	34/42	45/54