ULVAC愛發科低溫泵

CRYO-U 系列

CRYO-U10HSP

ULVAC CRYOGENICS

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發等應用領域的不同，從小型到大型有的產品陣容供您選擇。

特點

1. 適合濺射應用。

2. 氬氣容量是現有型號（U10H）的2倍。

3. 再生時間間隔延長意味著更高的可用性。

4. 可以進行多個連接（多3個）。

ULVAC愛發科  標準低溫泵

新款ULVAC愛發科  標準低溫泵壓縮機單元

使用 安裝組件可無需支架直接搭載

標配熱傳感器

熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。

內置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。

特點

安裝方向自由

安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。

搭載控制器

控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。

高壓縮比?高排氣圧力

高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。

三種法蘭可供選擇

VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。

清潔真空

在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。

用途

分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統

蒸發設備、濺射設備等著排氣系統

H2、He等輕氣體主排氣系統